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    靶材应该如何保养?

    访问量 : 600
    编辑时间 : 2021-04-26

      镀膜靶材应该如何保养?

      一、靶材保养

      为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以*大功率密度进行溅射。

      二、靶材储存

      我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是贴合靶材更需要保存在真空条件下,以避免贴合层氧化影响贴合质量。对于金属靶材的包装,我们建议*少需要包装在洁净的塑料袋中。

      三、靶材清洁

      第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

      第二步与第一步类似用酒精清洁;

      第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。

      第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材,以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

      四、短路及密封性检查

      靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查,建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后,可以进行检漏检查,将水通入阴极确定是否存在漏水现象

      五、包装和运输

      所有靶材包装在真空密封塑料袋中,并附有防潮剂。外包装一般为木箱,四周有防撞层,以保护靶材和背靶避免在运输和储存过程中发生损坏。


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