新闻中心

• 首页
• 新闻中心

• 

  常见的溅射合金靶材的制备方法有哪些呢

  2021-04-26

  　　合金溅射靶材的要求比其他材料要高，除了如纯度、尺寸、各项杂质含量、缺陷控制等一般要求外，还有表面粗糙度、成份与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸等特殊的要求。所以在溅射合金靶材的制备过程中，其方法是非...